X射线衍射仪XRD是利用X射线在晶体物质中的衍射效应进行物质结构分析的技术。每一种结晶物质，都有其特定的晶体结构，包括点阵类型、晶面间距等参数，用具有足够能量的X射线照射试样，试样中的物质受激发，会产生二次荧光X射线（标识X射线），晶体的晶面反射遵循布拉格定律。通过测定衍射角位置（峰位）可以进行化合物的定性分析，测定谱线的积分强度（峰强度）可以进行定量分析，而测定谱线强度随角度的变化关系可进行晶粒的大小和形状的检测。X射线同无线电波、可见光、紫外线等一样，本质上都属于电磁波，...

扫描电镜主要由电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统七大系统组成而成。利用扫描电镜分析样品时，首先要排除外界的干扰去除假象，尽量减少这些不利因素的影响，使分析结果更准确。制样时产生的影响因素分析：1.样品制备样品的制备是能否得到重要信息的关键，若使用不正确的制样程序，不仅会得不到清晰的图像，而且有可能得到假象，即观察到的图像并不是真正的样品内部状态或主要成分，所以试样制备方法的选择对于热加工、热处理等工艺问题或后续加...

扫描电镜是一个复杂的系统，浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术。扫描电镜的基本工作过程用电子束在样品表面扫描，同时阴极射线管内的电子束与样品表面的电子束同步扫描，将电子束在样品上激发的各种信号用探测器接收，并用它来调制显像管中扫描电子束的强度，在阴极射线管的屏幕上就得到了相应衬度的扫描电子显微像。电子束在样品表面扫描，与样品发生各种不同的相互作用，产生不同信号，获得的相应的显微像的意义也不一样。这些信息的二维强度分布随试样表面的特征而变（这些特征有...

扫描电镜存在于我们的生活中，我们需要对它进一步地了解，以便更好地利用它为人类创造价值。我们来看看扫描电镜的几大组成系统吧！1.真空系统真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的SEM的真空要求，但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的SEM，则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放...

扫描电子显微镜（SEM）是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的优点是，①有较高的放大倍...

从理论上讲，只考虑电子束斑直径的话，加速电压越高电子束斑的直径越细。但是，使用高加速电压时产生的不利因素也不可忽视。这主要表现在以下几个方面：1）样品表面的微细结构不能清晰显露；2）边缘效应明显；3）容易积累电荷；4）容易损伤样品。一般情况下，使用低加速电压，能够更好地观察表面的微细结构。使用高加速电压，电子束在样品中的扩散区域增大，从样品内部产生的不必要的信号（如背散射电子）会掩盖样品表面的微结构。特别是在观察密度低的物质时，以低加速电压为好。图1入射电子的扩展（根据Dun...

光学平台，光学隔震平台，气浮隔震平台具有先进得隔振性能。光学平台具有平整的表面，内部采用蜂窝状的设计以获得大的刚度，另外内部的阻尼机制大限度地减少了振动对光学平台表面的影响。刚性，被动式和主动式光学平台能很好地把桌面从地面的振动隔离出来。随着先进的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关...