超高分辨热场发射扫描电镜

JSM-7900F 超高分辨热场发射扫描电镜品是JEOL,是JEOL推出的新一代FE-SEM旗舰机型。 它继承了上一代广获好评的*空间分辨率、高稳定性、多种功能等性能的同时，操作性能简单化。 该设备不依赖操作者的技能，始终能够发挥其性能。

主要特点：

◇  Neo Engine（New Electron Optical Engine）

新一代电子光学控制系统Neo Engine（New Electron Optical Engine），是JEOL电子光学技术荟萃的结晶。 它综合了透镜控制系统和自动化技术，即使改变电子光学条件，光轴的偏离也极小，大大提高了可操作性及观察精度。 无论是谁都可以很简便地发挥出仪器原本的功能。

①  提高了自动功能

       样品 : 用CP 制备的矿物截面（树脂包埋）                 入射电压 : 5 kV，检测器 : RBED，观察倍率 : ×100,000

      不仅提高了自动功能的精度，而且只需要几秒钟就可以聚焦。

②   提高了倍率的精度

  样品 : 测长用的样品（MRS5）     入射电压 : 10 kV， 观察倍率: ×50,000
 

      大幅度地提高了倍率的精度，而且实现了高精度测长。

③ 能量过滤器更加易用   

     样品 : 名片        入射电压 : 1.5 kV， 检测器 : UED， 观察倍率 : ×3,500

     即使大幅度改变能量过滤器的设定值，视野或聚焦位置基本不会偏离。

◇ GBSH-S (GENTLEBEAM™  Super High resolution Stage bias mode)

GBSH 是在低加速电压下提高分辨率的一种方法。 新开发的GBSH-S可以给样品台施加高达5 kV的偏压。 因此，使用GBSH模式不需要使用的样品杆就可以无缝过渡到其他模式。

※GENTLEBEAM™ 通过给样品施加偏压，起到了对入射电子减速，对出射电子加速的作用。

◇ 新型背散射电子检测器　※ 选配件

采用新开发的超高灵敏度的背散射电子检测器，可以在清晰的衬度下进行观察。 灵敏度比以往的产品提高了很多，特别是在低加速电压下能得到高衬度的成分像。

                                旧机型                                                                   新机型

   样品 : Cu的截面             入射电压 : 3 kV     观察倍率 : ×10,000  WD： 4.5 mm

◇ 新型外观设计

     外观设计紧凑，大大节省了安装空间，可以支持多种安装环境。

◇ 新的样品交换方式

     采用新设计的样品交换系统（load lock），操作简单了，不仅减少误操作还提高了通量和耐用性。

◇ SMILENAVI

SMILENAVI 是为初学者在短时间内学会基础操作而开发的操作导航系统。 操作人员按照流程，只要点击图标，SEM操作画面就会联动，依照提示引导即可操作。

①  强调操作按钮

只要将鼠标光标挪到SMILENAVI的指南键上，SEM的GUI上的相应键会出现方框。

在SMILENAVI指南里点击按键后，SEM的GUI会变成灰色来强调相应键。

②  显示照片

在SMILENAVI的指南里点击按键后，会显示该按键位置的照片。

③  显示操作顺序的视频

       SMILENAVI的指南里有介绍操作顺序的视频。

◇ 浸没式肖特基 Plus 电子枪

浸没式肖特基Plus FEG 通过与电子枪和低像差聚光镜的组合，性能进一步得到改善，达到了更高的亮度。 能有效地收集从电子枪发射出的电子，即使在低加速电压下，也能获得数pA ～数10 nA 的探针电流，不用交换物镜光阑也能进行高分辨观察和快速元素面分布及EBSD 分析。

◇ ACL（光阑角控制镜）

ACL（光阑角控制镜）位于物镜的上方，自动优化整个电流范围内的物镜光阑角。 因此，即使改变探针电流量，也能调整入射电子的扩散，始终可以获取小的电子束斑。不管是高分辨观察还是X 射线分析，对探针电流的大幅度变化都能轻松对应。

◇ 超级混合式物镜 / SHL

JSM-7900F 标配了JEOL 开发的电磁场叠加物镜 —“超级混合式物镜（SHL）”，对任何样品包括磁性和绝缘材料都能进行超高空间分辨率观察和分析。

◇ 检测器系统

能够同步采集多达4 种检测器的信号。

标配低位检测器（LED）和高位检测器（UED）。 此外，还可以安装选配件：可插拔式背散射电子检测器（RBED）和高位二次电子检测器（USD）。

◇ 高空间分辨率观察

利用GBSH，即使在极低的加速电压下也能进行高分辨率观察。

 GBSH下，高空间分辨率观察应用

●  氧化物纳米材料

     ● 金属纳米颗粒

◇ 低真空功能  ※选配件

利用低真空功能，即使是绝缘材料也不需要对样品喷涂导电层，并且能很容易地进行观察及测试。JSM-7900F 在低真空下也拥有*的空间分辨率。

高倍率下的观察应用

 ● 玻璃

EDS分析应用

● 食品

利用低真空功能，能容易地抑制绝缘材料产生的充放电效应

JSM-7900F 超高分辨热场发射扫描电镜技术参数: