SEM扫描电镜是一种用于放大并观察物体表面结构的电子光学仪器。扫描电镜由镜筒、电子信号的收集和处理系统、电子信号的显示和记录系统、真空系统和电源系统等组成,具有放大倍数可调范围宽、图像分辨率高和景深大等特点。应用于生物、医学、材料和化学等领域。
SEM扫描电镜在使用时应需要以下事项:
1、将试样置于载物台垫片,调整粗/微调旋钮进行调焦,直到观察到的图像清晰为止;
2、调整载物台位置,找到要观察的视野,进行分析;
3、扫描电镜调焦时注意不要使物镜碰到试样,以免划伤物镜;
4、当载物台垫片圆孔中心的位置远离物镜中心位置时不要切换物镜,以免划伤物镜;
5、在做切换动作时,动作要轻,要到位,关机时要将亮度调到小;
6、亮度调整切忌忽大忽小,也不要过亮,影响灯泡的使用寿命,同时也有损视力;
7、非专业人员不要调整显微镜照明系统(灯丝位置灯),以免影响成像质量;
8、更换卤素灯时要注意高温,以免灼伤;注意不要用手直接接触卤素灯的玻璃体;
9、设备不使用时及时关掉电源。
SEM扫描电镜可通过改变物镜的透镜系统人们可以直接放大物镜的焦点的像,由此人们可以获得电子衍射像,使用这个像可以分析样本的晶体结构,在这种扫描电镜中,图像细节的对比度是由样品的原子对电子束的散射形成的,由于电子需要穿过样本,因此样本必须薄。样本的厚度可以从数纳米到数微米不等。
原子量越高、电压越低,样本就必须越薄。样品较薄或密度较低的部分,电子束散射较少,这样就有较多的电子通过物镜光栏,参与成像,在图像中显得较亮。反之,样品中较厚或较密的部分,在图像中则显得较暗。如果样品太厚或过密,则像的对比度就会恶化,甚至会因吸收电子束的能量而被损伤或破坏。