台式电镜主要用于各类微观样品表面形貌、组织结构进行快速检测以及其元素成份分析,具有高低真空成像模式。可对金属和其他导体以及作导电喷涂处理后的样品采用高真空模式成像。对未经导电喷镀处理的非导电样品可进行原始状态下的观察,并保持样品的原始形貌,得到真正的表面形貌。对含水量较高的样品,可以在冷冻辅助下观测形貌。配备能谱分析,可以对微区元素定性定量分析。配备离子溅射仪,可满足无导电物质喷溅需求。
台式电镜的制样流程分析:
一、观察形貌的块状样品制备
清洗(干燥→吹掉浮粉)→固定→导电处理。
二、能谱分析的块状样品制备
切割→镶嵌→打磨抛光→腐蚀→清洗→固定→导电处理。
三、粉末样品制备
1.对于小颗粒(<100nm)
分散(取少量粉末于溶液中)→超声分散→滴样(取少量样品滴于导电平滑衬底上,如Si片)→烘干→(导电处理)。
2.对于大颗粒(1um)
分散(取少量粉末撒于碳胶或铜胶表面)→吹掉多余→(导电处理)。
四、注意事项
1.双面碳胶固定牢,否则在样品舱内会膨胀、放气、导电性不佳、高倍下有漂移现象;
2.同一批次测试的样品高度尽量一致,高度相差较大的样品要分批测试;
3.导电性不理想的样品可以进行喷金操作,喷金不要太厚,2nm即可。