关于台式扫描电子显微镜您了解多少？

　　电子源发射的电子束经过电磁透镜的电子光学通路聚焦，电子源的直径被缩小到纳米尺度的电子束斑，与显示器扫描同步的电子光学镜筒中的扫描线圈控制电子束，在样品表面一定微小区域内，逐点逐行扫描。电子束与样品相互作用，从样品中发射的具有成像反差的信号，台式扫描电子显微镜由一个适当的图像探测器逐点收集，并将信号经过前置放大器和视频放大器，用调制解调电路调制显示器上相对应显示像素的亮度，形成我们人类观察习惯的，反映样品二维形貌的图像或者其他可以理解的反差机制图像。

　　由于图像显示器的像素尺寸远远大于电子束斑尺寸，（0.1mm/1nm=100，000倍）而且显示器的像素尺寸小于等于人类肉眼通常的分辨率，这样显示器上的图像相当于把样品上相应的微小区域进行了放大。通过调节扫描线圈偏转磁场，可以控制电子束在样品表面扫描区域的大小，理论上扫描区域可以无限小，但可以显示的图像有效放大倍数的限度是扫描电镜分辨率的限度。

　　台式扫描电子显微镜是控制信号不经过计算机软件，直接由操作台按键旋钮等对执行机构进行控制，属于人工手动控制，控制精度由操作者观察仪表盘的变化决定，例如高压电源，扫描线圈，探测器电源，电子枪控制，磁透镜控制，样品台的运动控制等等。数字控制是所有控制指令输入到交互控制软件，然后由计算机对执行机构发出准确的数字指令，绝大部扫描电镜参数可实现了软件自动调整，如自动聚焦，亮度对比度，自动消象散，自动电子枪发射饱和，自动电子枪对中，自动物镜光阑合轴等。