钨灯丝扫描电镜总发射电流和束斑都较大,抗干扰能力和稳定性都较好,低真空下可以对不导电样品无荷电成像,可用于形貌观察、显微结构分析、断口形貌分析,在材料、地质、矿产、冶金、机械、化学、化工、物理、电子、生物、医学等领域都有广泛的用途。
工作原理:
通过对电子枪内的钨灯丝加高电压,使电子枪处于热激发状态,在阳极作用下,处于热激发的电子枪就可以激发出电子束。经过扫描线圈磁场的控制,电子束在样品表面逐点扫描,激发出二次电子、背散射电子等物理信号,经探测器收集、放大器放大后,调制得图像。钨灯丝扫描电镜适合大量的常规检测。
JSM-IT500 钨灯丝扫描电子显微镜是JEOL InTouchScope系列推出的新机型。有哪些优势特点呢?
一、Zeromag
从样品座图形和CCD图像上可以寻找视野和分析位置。寻找视野非常轻松,多视野连续分析的位置也很容易。
光学CCD图像和SEM图像的结合和无缝操作大大提高工作效率!
利用Zeromag很容易设定大面积的蒙太奇区域,有利于成像和观察。蒙太奇功能在断裂分析和大区域中识别异物等从大面积区域上获取详细信息时非常有效。
二、实时分析,SEM和EDS一体化集成
在SEM图像观察过程中,进行EDS分析
利用Live Analysis功能,可在观察窗口中进行被观察区域的EDS分析。可以很容易地找到自己感兴趣的元素,还能发现意料之外的元素。
①显示存在于测试区域中的主元素。能元素并显示“Alert”。
②会显示分析区域的特征X射线谱图和自动定性分析结果。
③一键点击就可以在电镜操作界面和详细分析显示界面间切换。
三、数据集中管理软件SMILE VIEW™ Lab,无缝创建报告
SMILE VIEW™ Lab是能集中管理与样品台位置联动的CCD图像、SEM图像、EDS分析结果等数据并快速生成报告的数据管理器。查看以前获得的数据、重新分析,生成报告等都非常简便。
①显示各个视野的名称。
②能根据样品名、创建日期和数据类型等搜索数据。
③在样品座图形或CCD图像上显示各个视野的位置。
④会列表显示被选区域的元素图、谱图等的数据和定量分析结果等。