台式扫描电镜是在加速高压作用下将电子枪发射的电子经过多级电磁透镜汇集成细小的电子束。在末级透镜上方扫描线圈的作用下,使电子束在试样表面做光栅扫描(行扫+帧扫)。入射电子与试样相互作用会产生二次电子、背散射电子、X射线等各种信息。这些信息的二维强度分布随着试样表面的特征而变,将各种探测器收集到的信息按顺序、成比率地转换成视频信号,再传送到同步扫描的显像管并调制其亮度,就可得到一个反应试样表面状况的扫描图像。如果将探测器接收到的信号进行数字化处理即转变成数字信号,就可以由计算机做进一步的处理和存储。
台式扫描电镜的主要应用领域讲解:
1.扫描电镜在材料和冶金行业中的应用
场发射扫描电镜采用场致发射电子枪代替普通钨灯丝电子枪,可得到很高的二次电子像分辨率。采用场发射电子枪需要很高的真空度,在高真空度下由于电子束的散射更小,其分辨率进一步得到提高。同时,采用磁悬浮技术,噪音振动大为降低,灯丝寿命也有增加。场发射扫描电镜的特点是二次电子像分辨率很高,如果采用低加速电压技术,在TV状态下背散射电子(BSE)成像良好,对于未喷涂非导电样品也可得到高倍像。所以,场发射扫描电镜对半导体器件、精密陶瓷材料、氧化物材料等的发展起到很大作用。
2.扫描电镜在新型陶瓷材料显微分析中的应用
在陶瓷的制备过程中,原始材料及其制品的显微形貌、孔隙大小、晶界和团聚程度等将决定其后的性能。扫描电子显微镜可以清楚地反映和记录这些微观特征,是观察分析样品微观结构方便、易行的有效方法,样品无需制备,只需直接放入样品室内即可放大观察;同时扫描电子显微镜可以实现试样从低倍到高倍的定位分析,在样品室中的试样不仅可以沿三维空间移动,还能够根据观察需要进行空间转动,以利于使用者对感兴趣的部位进行连续、系统的观察分析。扫描电镜拍出的图像真实、清晰,并富有立体感,在新型陶瓷材料的三维显微组织形态的观察研究方面获得了广泛地应用。
3.扫描电子显徽镜在地质工作中的应用
扫描电镜主要通过对微体古生物、岩石、矿物的形态和结构构造特征的研究,岩石、矿物的元素组成、变化规律及其赋存状态的研究,解决地质科研和生产中的各种问题。它直接或间接应用于古生物学(主要是微体古生物)、矿物学、岩石学、陨石学、矿床学、构造地质学、矿床综合评价和矿产综合利用等方面的研究。
4.扫描电镜在医学和生物学中的应用
随着扫描电镜分辨力沟不断提高和样品制备技术的逐步改善,它在医学生物学的研究中发挥了巨大乍用,具有重要约实用价值。特别是近年来,由于冷冻割断法、化学消化法以及树脂铸型法等新技术的创建,使人们在扫描电镜下可以直接观察组织细胞内部超微结构的立体图象,能够显示器官内微血管和其他管道系统在组织内的三维构筑,为医学生物学亚显微领域的深入探讨,提供了更为良好的条件。