日本电子电镜是六十年代发展起来的一种精细电子学仪器。使用它可以调查块状样品的外表形状，然后得出有关样品立体布局的概念。电子显微镜由三局部构成：电子光学体系包括电子枪、磁透镜和扫描线圈等，它能发生契合必定需求的电子束；样品室是电子束与样品相互效果的场所。为便于获取效果后生成的各种信号，样品室的体积容量较大；信号的搜集、处置和显现体系。
电子显微镜中的细电子束在样品外表作出光栅状扫描，即从左上方扫向右上方，扫完一行再扫其下相邻的第二行，直至扫完一幅(或帧)。如此重复运动。这种作扫描运动的电子束，在样品内的必定区域内逐点“炮击”出各种信号。这里所搜集、使用的主要是从块状样品外表“反射”回来的各种信号，包括效果后的局部初始电子(即背散射电子)和初始电子失能所引起的二次激起信号。
日本电子电镜的二次激起分析如下：
1.低能二次电子；
2.电子-空穴对(电子束感生信号)；
3.阴极荧光；
4.特征X射线；
5.俄歇(Auger)电子。
此外，少数实验中也有运用样品中的吸收电子和透射电子作分析的。当电子束在样品上扫描时，运用同步扫描技术，使显像管荧光屏上也有一光点在同步扫描。依托从样品各点处收集到的有用信息，使荧光屏上相应的光点得到不一样程度的加亮。这就是电子显微镜中所选用的逐点成像原理。
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